Exact™の物理ベース3次元RCフィールド・ソルバであるCleverと、強力なDOE(実験計画) やスクリプト言語の組み合わせにより、任意のフルチップ寄生素子抽出ツールと連携して使用できます。Exactは、ナノメータ半導体プロセスに対して配線モデルを高精度に計算し、フルチップLPE ( レイアウト寄生素子抽出) 用のルール・ファイルを生成します。
![]() Exactのフロントエンド |
![]() コンフォーマルに堆積された、非平坦多層絶縁膜を持つ多層金属配線プロセス |
![]() Exactで作成および使用されるテスト構造の例 |
![]() DOEで使用する任意のテスト構造に対し、
パラメタライズド・レイアウトを容易に作成可能 |
![]() オリジナルのExact容量データと、そのデータの合わせ込みに使用された、最適化された係数を持つ方程式との比較 |
![]() 合わせ込み作業をインタラクティブに制御できる
オプティマイザ・ウィンドウ |
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容量係数のプロセス変動効果を、グラフィカルに表示できます(a)。 統計解析も行えます(b)。 ヒストグラムは、パターンばらつきによる配線のラテラル容量分布を示します。 |
Rev.061913_30