フルチップLPEルール・ファイル生成ツール

Exact™の物理ベース3次元RCフィールド・ソルバであるCleverと、強力なDOE(実験計画) やスクリプト言語の組み合わせにより、任意のフルチップ寄生素子抽出ツールと連携して使用できます。Exactは、ナノメータ半導体プロセスに対して配線モデルを高精度に計算し、フルチップLPE ( レイアウト寄生素子抽出) 用のルール・ファイルを生成します。

特長

• 非平坦な半導体形状に対応する強力な3次元フィールド・ソルバは、特殊なエッチ形状、デュアル・ダマシン、low-k誘電体を高精度にモデリング可能
• 3次元フィールド・ソルバは、抽出パフォーマンスを損なうことなく、配線容量モデルを計算し、極めて高精度なLPEルール・ファイルを生成可能
• 直感的で使いやすいGUIにより、新規ユーザから熟練のプロセス・テクノロジ開発者まで、容易にプロセス・レイヤの記述やテスト構造の定義が可能
• 標準モードの動作でほとんどの従来型プロセスに対応でき、アドバンスト・モードではより複雑で非平坦なプロセス定義に対応
• 強力なスクリプト言語により、任意のフォーマットにデータを加工可能

スムーズな導入と優れた操作性

• デッキの自動生成と3次元フィールド・ソルバの自動実行
• メニュー方式のパラメタライズド・レイアウト生成機能により、テスト構造およびパターンを容易に生成可能
• Lisaスクリプト言語を使用して、LPEファイルを容易に作成可能
• 柔軟なアーキテクチャにより、計算した寄生データを、xCalibre、Calibre xRC、Diva/Dracula LPE、Hipexなどの幅広いカスタム方程式に適用可能
• プロセスおよびレイアウトのプレビュー

高い生産性と汎用性

• バッチモード･オプションにより、再キャラクタライズの自動実行が可能
• アドバンスト・モードの動作では、熟練ユーザ向けに、より高度なプロセス・モデルを提供
• 容量変動に対する統計解析が可能
• 実験の解析を容易にする、わかりやすい抽出容量テーブル
• ワークシート/オプティマイザ
• マルチプロセッサ・マシン対応
• 1D/2D/3Dモードの自動選択
• レイヤ個別のDOEを組み合わせることで、シミュレーション時間を削減

先進の半導体プロセスをサポート

• Exactの配線寄生容量モデリングは以下をサポートします。
• 平坦/非平坦の誘電体
• low-k誘電体および銅ダマシン・プロセス
• 誘電体のコンフォーマル・デポジション
• OPC (光近接効果補正)にもとづくサブ波長リソグラフィ効果
• 配線容量に対するプロセス変動効果
• 統計解析およびワーストケース寄生解析は、既知のプロセス・マージンを抽出データに適用して実行
• 非平坦な半導体形状に対応する強力な3次元フィールド・ソルバは、特殊なエッチ形状、デュアル・ダマシン、low-k誘電体を高精度にモデリング可能
• 3次元フィールド・ソルバは、抽出パフォーマンスを損なうことなく、配線容量モデルをキャリブレートし、極めて高精度なLPEルール・ファイルを生成可能
• 内蔵のオプティマイザにより、合わせ込みおよびプロセス最適化の精度が向上
• フローティング導体をシミュレーション可能

Rev.061913_30