高精度3次元寄生素子抽出ツール

Clever™は、任意形状の3次元構造に対応した物理ベースの高精度な抵抗・容量抽出ツールです。解析対象となる構造は、Cleverの内蔵プロセス・シミュレータから作成することも、シルバコのVictory 3次元プロセス・シミュレータからインポートすることも可能です。Cleverはフィールド・ソルバにより抽出された抵抗・容量素子を、ネットリストにバックアノテーションします。また、液晶シミュレータとして内蔵の液晶配向子の物理ソルバにより、バイアス依存の容量シミュレーションと光透過率シミュレーション機能を持っています。

おもな特長

  • 任意形状の3次元構造対応のフィールド・ソルバを利用した、物理ベースの抵抗・容量抽出ツール
  • 局所的な電界依存性をもつ、物理ベースの液晶誘電率計算
  • 電界依存性のある液晶配向子の解析
  • 電圧依存性のある光透過率の解析によりパターンを可視化
  • アクティブ・デバイスを含むネットリスト抽出機能を統合
  • 抽出された容量と抵抗の抽出ネットリストへのバックアノテーションを自動化
  • 内部で3次元構造を作成、またはVictory 3次元TCAD製品から構造をインポート
  • レイアウト・エディタから実行できるGUIインタフェースオプション
  • 電気的にフローティングなダミー・ノードをサポート
  • ユーザが指定可能な複数のソルバを用意
  • 境界条件、材料特性、解の許容誤差値を設定可能
  • ひとつのノードから、複数のノードに分配された容量値を抽出可能
  • FinFETのミドル・エンド・オブ・ライン(MEOL)容量解析

メリット

Cleverは、リアルなエッチング/デポジション・モデルなどを備えた高い汎用性を誇る高精度RC抽出ツールで、複雑な配線セルであっても高い生産性を実現することができます。Cleverに搭載されたAMR機能を局所的に実行することで、目標とする精度を実現できます。また、Cleverは自由度のあるメッシュに対し必要に応じて自動的に細分化法を使用するため、メッシュの精度を最大化することができます。

使用用途

FinFetへの適用
  • ミドル・エンド・オブ・ライン(MEOL)の分配値の計算
  • 内蔵の3次元構造作成機能、または
  • シルバコのVictoryプロセス・シミュレータから3次元構造をインポート
典型的な高アスペクト比のFinFETロジック・セル
ひとつの電極からの容量を、電気的に接続されている複数のノードに分配可能
ブレーナ構造(LSI)への適用
  • ネットリスト抽出機能を統合
  • 抽出された寄生抵抗、寄生容量をネットリストへバックアノテーション
実際のメタル配線のSEM写真
Victory 3次元プロセス・シミュレータからインポートされた3次元構造との比較
フラット・パネル・ディスプレイへの適用
  • 大規模、高アスペクト比のフラットパネルで、高精度に容量を抽出
GDS-IIファイルから切り出された画素マトリックス
容量計算中の電位分布と自動生成されたメッシュ
液晶技術への適用
  • 電界依存の配向子計算
  • 電界依存の容量計算(C-Vプロット)
  • 複数のメッシュ生成、および計算ソルバに関するオプションを用意
LCD表面上の2つの山形電極に対する電位分布
左中央の断面で、6ボルト印加時のLCD配向子
上の図で示されている構造中の容量 v.s. 電圧(C-V)プロット
メッシュ生成オプションの例(ドローネ・メッシュ)
液晶セルの平均透過率における画素電圧依存性:異なる画素電圧における液晶セルの上部から見た光透過パターン
異なる画素電圧ごとの液晶セルの平均透過率における波長依存性
タッチパネルへの適用
  • 電気的にフローティングな導体との容量を抽出
  • 入力コマンドで指の高さなどの変数を使用可能
タッチスクリーンに人の指が触れる様子を再現した3次元構造
2つの電極間の容量とタッチスクリーン上の人の指の高さの関係
レイアウト・エディタからの実行オプション
  • Expertレイアウト・エディタから、GUIを使用してCleverによるRC抽出を直接実行可能
  • 各レイヤの膜厚による3次元構造の構築
レイアウト・エディタからの実行オプションを使用する際に起動されるGUIインタフェース
レイアウト・エディタに搭載されているGUIを使用して自動的に生成された3次元構造

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